Використання перколяційних моделей у дослідженнях властивостей молекулярних систем
Вантажиться...
Файли
Дата
1995
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ОДАХТ
Анотація
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 01.04.14 - теплофізика і молекулярна фізика.
У дисертації представлені теоретичні дослідження гетерогенних систем.
Запропоновано перколяційні моделі фоточутливих полікрісталічних плівок і амортизованих шарів, що виникають в напівпровідниках при іонної імплантації.
Показано, що ефект дальнодії визначається перколяційною природою розупорядкованих областей. Дано пояснення існуванню оптимального інтервалу доз, що забезпечує максимальний ефект гетерування.
На основі аналізу фрактальної розмірності фоточутливих напівпровідникових плівок розроблена і впроваджена у виробництво методика експрес-контролю їх якості.
Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 01.04.14 - теплофизика и молекулярная физика. В диссертации представлены теоретические исследования гетерогенных систем. Предложены перколяционные модели фоточувствительных поликристалических пленок и амортизированных слоев, возникающих в полупроводниках при ионной имплантации. Показано, что эффект дальнодействия определяется перколяционной природой разупорядоченных областей. Дано объяснение существованию оптимального интервала доз, обеспечивающего максимальный эффект геттерирования. На основе анализа фрактальной размерности фоточувствительных полупроводниковых пленок разработана и внедрена в производство методика экспресс-контроля их качества.
Thesis is presented for a candidate of science degree on the speciality of 01.04.14 - thermophysics and molecular physics. Teoretiсal research of heterogeneous systems is presented in the theses. There are presented percolation models of photosensitive polycrystaline films and amorphous layers in ion-implantation Semiconductors. In theses shown the explanation of there іs the threshold dependence of long-range action effect and the optimum of radiation dose for maximum of gettering effect is explained. A method of definition of thin films quality іs industrially introdused and applied.
Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 01.04.14 - теплофизика и молекулярная физика. В диссертации представлены теоретические исследования гетерогенных систем. Предложены перколяционные модели фоточувствительных поликристалических пленок и амортизированных слоев, возникающих в полупроводниках при ионной имплантации. Показано, что эффект дальнодействия определяется перколяционной природой разупорядоченных областей. Дано объяснение существованию оптимального интервала доз, обеспечивающего максимальный эффект геттерирования. На основе анализа фрактальной размерности фоточувствительных полупроводниковых пленок разработана и внедрена в производство методика экспресс-контроля их качества.
Thesis is presented for a candidate of science degree on the speciality of 01.04.14 - thermophysics and molecular physics. Teoretiсal research of heterogeneous systems is presented in the theses. There are presented percolation models of photosensitive polycrystaline films and amorphous layers in ion-implantation Semiconductors. In theses shown the explanation of there іs the threshold dependence of long-range action effect and the optimum of radiation dose for maximum of gettering effect is explained. A method of definition of thin films quality іs industrially introdused and applied.
Опис
Герега, О. М.
Використання перколяційних моделей у дослідженнях властивостей молекулярних систем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : спец. 01.04.14 "Теплофизика та молекулярна фізика" / Герега Олександр Миколайович ; наук. кер. О. Л. Становський ; Одес. держ. акад. харч. технологій. – Одеса : ОДАХТ, 1995. – 15 с.
Ключові слова
перколяція, фрактальна розмірність, модель, дальнодія, іонна імплантація, перколяция, фрактальная размерность, модель, дальнодействие, ионная имплантация, рercolation, fractal dimension, model, long range, ion implantation