Перегляд за Автор "Белицкая, С. Г."

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
  • Документ
    Исследование окисления кремния в связи с защитой полупроводниковых приборов
    (ОТИ, 1967) Белицкая, С. Г.
    Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Цель работы – исследование поведения реальной поверхности монокристаллов кремния при экспозиции на воздухе и выяснение факторов, вызывающих нестабильность поверхности в этих условиях. Рассматриваются оптимальные условия нанесения защитных покрытий из окислов кремния при низкой температуре. Установлено фотографическое действие шлифованной поверхности кремния на предварительно гиперсенсибилизированный фотослой. Изучена кинетика окисления реальной поверхности кремния в атмосфере с резко пониженной влажностью. Рассмотрено влияние радиационных дефектов, возникающих при гамма-облучении кремния на скорость роста поверхностных пленок. Исследованы два метода нанесения защитных покрытий на полупроводниковые приборы: химическое окисление и нанесение пленок двуокиси кремния в аргоно-кислородной плазме. Построены изотермы адсорбции и кривые роста окисных пленок на кремнии в зависимости от влажности окружающей среды. С ростом температуры наблюдается ускорение процесса роста поверхностной пленки, что объясняется ускорением катодной стадии процесса.